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羅昇旗下資騰攜手法國R2D 推廣全球唯一SOI晶圓剝離解決方案 【記者呂承哲/台北報導】佳世達集團(2352)自動化機電零組件通路商羅昇(8374)旗下資騰科技,將於SEMICON Taiwan 2025攜手法國R2D Automation推廣其代表性設備Decauto。這款設備為全球唯一的SOI(Silicon on Insulator, 絕緣層上覆矽)晶圓剝離解決方案,具備高度自動化設計與精密控制機制,經過業界量產驗證,能有效降低製程中晶圓破片、缺陷或厚度不均等問題的SOI晶圓剝離解決方案。

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羅昇旗下資騰攜手法國R2D 推廣全球唯一SOI晶圓剝離解決方案
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