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日媒:台積電年底前收到High NA EUV機台 生產比2奈米先進2代製程 【記者呂承哲/綜合外電】根據外媒報導,全球晶圓代工龍頭台積電正在第四季於竹科的研發中心引進荷商艾司摩爾(ASML)的高數值孔徑極紫外光(High NA EUV)微影設備,並用以比2奈米更先進2代的製程技術,沒有打算馬上讓該機台進入量產階段。

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日媒:台積電年底前收到High NA EUV機台 生產比2奈米先進2代製程
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