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恐損失數億美元!隨機性變異衝擊先進製程 Fractilia助攻2奈米量產 【記者呂承哲/台北報導】先進半導體製造隨機性(stochastics)誤差量測與控制解決方案業者Fractilia,在最新發表的白皮書中指出,隨機性圖案變異已成為先進製程節點量產(high-volume manufacturing, HVM)無法達標良率的最大障礙。根據該白皮書分析,這些來自光源、分子、材料等層級的非系統性誤差,在量產階段對晶圓廠造成的潛在損失可高達數億美元。

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